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堪稱黑科技的MEMS氣體傳感器了解一下

2022-06-07 11:30:11 精訊暢通

背景:

MEMS傳感器是基于微機電系統(tǒng)的典型傳感器產(chǎn)品。它是指可以批量制造的、集微結(jié)構(gòu)、微傳感器、微執(zhí)行器以及信號處理和控制電路于一體的器件或系統(tǒng)。其特征尺寸相對于傳統(tǒng)傳感器而言更加小巧,一般在0.1μm~100μm范圍。

MEMS傳感器的制作,都涉及到電子、機械、材料、物理學、化學、生物學等當今科學技術(shù)的許多尖端成果,它將感知信息處理與執(zhí)行機構(gòu)相結(jié)合,改變了人類感知和控制外部世界的方式,具有廣闊的應用前景。?

MEMS傳感器作為獲取信息的關(guān)鍵器件,對各種傳感裝置的微型化起著巨大的推動作用,由最早的工業(yè)、軍用航空應用走向普通的民用和消費市場。MEMS傳感器廣泛應用于社會、發(fā)展及人類生活都的各個領(lǐng)域,如工業(yè)自動化、農(nóng)業(yè)現(xiàn)代比、航天技術(shù)、資源開發(fā)、海洋探測、環(huán)境監(jiān)測、交通運輸?shù)取?/p>

與傳統(tǒng)的傳感器相比,MEMS傳感器體積小、重量輕、成本低、功耗低、可靠性高、適于批量化生產(chǎn)、易于集成和實現(xiàn)智能化的特點。同時,其微米量級的特征尺寸,使得它可以更方便地集成到其他設(shè)備上,從而完成某些傳統(tǒng)機械傳感器所不能實現(xiàn)的功能。?

圖片關(guān)鍵詞

產(chǎn)品概述:

MEMS氣體傳感器是利用MEMS工藝在SI基襯底上制作微熱板,所用氣敏材料是在清潔空氣中電導率較低的金屬氧化物半導體材料。當環(huán)境空氣中被檢測氣體存在時傳感器電導率發(fā)生變化,該氣體濃度越高,傳感器的電導率就越高。在這種情況下,只需使用較為簡單的電路,即可將電導率的變化轉(zhuǎn)變?yōu)殡娏鞯淖兓?,進而生成與該氣體濃度相對應的輸出信號。?

產(chǎn)品亮點:

1. 微型化設(shè)計。產(chǎn)品體積小、諧振頻率高、功耗低、響應速度更快,同時,MEMS傳感器表面體積比高的特性,也意味著傳感器的敏感程度更高。?

2. 高度集成。不同功能、不同敏感方向或致動方向的多個傳感器和執(zhí)行器,可以被集成于一體,形成高效、多功能的微傳感器陣列或微執(zhí)行器陣列,在小體積狀態(tài)下實現(xiàn)更多功能。?

3. 高溫、低溫環(huán)境下工作適應性良好。產(chǎn)品功耗較低,工作過程中基本不產(chǎn)生熱輻射,不會令周圍環(huán)境產(chǎn)生明顯的溫度濕度變化,不影響相關(guān)監(jiān)測過程的進行。?

4. 抗震性好。MEMS傳感器體積小、重量輕,處于震顫狀態(tài)下時不易發(fā)生形變或移位現(xiàn)象,可保持檢測性能處在正常狀態(tài)下。

5. 使用壽命長。?

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